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请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率？

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偏振仪问题

回答共6个

smartcity
2024/7/26 7:15:47

展开1全部我只有一本关于椭偏原理的书，关于如何测量折射率，这要看生产厂家提没提供这项功能，你用的是谁家的机台？我说一种方法吧，如果是光谱式的话，需要测量折射率的那一膜层可以用柯西色散模式建模型，这样可以将每一波长对应的折射率以及K值求出来。所以我想问下你用的是哪一家的

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兴旺宝
2024/7/26 7:16:05

引用:原帖由 JJ_2ic 于 2008-7-18 09:39 发表楼主还是找一些椭偏的资料看看吧，椭偏的技术方式比较多，但总的来说，反射光的光强和位相在经薄膜反射后都会改变，我们知道，位相的改变是非常敏感的，所以椭偏能够达到反射式测量达不到的精度。但椭偏有一个问题， ...

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zmt0067
2024/7/26 7:16:25

椭偏仪方面的paper很多，反射膜厚仪方面的几乎没有，很奇怪！

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linda
2024/7/26 7:16:47

任何量产使用的椭圆偏振仪都可以同时测量透光薄膜的厚度和折射率,一般可测范围是0~2um.比如kla-tencor,thermawave,nanometrics的设备,都可以测量.

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smartcity
2024/7/26 7:16:59

椭偏仪可以测试多晶硅的膜厚和折射率吗？怎么测试。我们现在的一台好像只有测试SIN和SIO2的功能，哪位达人指教一下呢？

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仪表柱子
2024/7/26 7:17:19

我有一个关于你问题的资料，如果想要，可以站短

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